Fehlerseparationsverfahren werden eingesetzt, um die Geradheitsabweichung von Maßstäben, Topographien von Siegeln und systematische Sensorfehler zu kalibrieren. Mit dem erweiterten "Traceable Multi-Sensor" (TMS) Verfahren können all diese Aufgaben, unter der Voraussetzung einer stabilen, rückführbaren Winkelmessung, bewältigt werden. Daher wurde es am Nanometerkomparator zur Geradheitsmessung angewendet. Dieser wurde für die Realisierung von Geradheitsmessungen mit drei Y-Interferometern, einer neuen Messbrücke und einem neuen, aus Zerodur gerfertigten Maßstabträger in Form einer monolithischen Wanne mit einem direkt aufgebrachten Y-Spiegel erweitert.