Lidée première de ces travaux était dévaluer la potentialité des réseaux 2D de nanocristaux (NC) dargent de 5 nm de diamètre comme masques dans les procédés de gravure. Ces réseaux ont donc été soumis à un plasma doxygène généré dans les procédés de Gravure Ionique Réactive. Lanalyse des mêmes zones avant et après plasma démontre la coexistence de deux comportements régis par la régularité de larrangement 2D des NC. Les assemblées parfaitement arrangées restent quasiment intactes, tandis que celles qui présentent des défauts dassemblage sont détruites. Les NC coalescent alors pour former de plus grandes particules sphériques qui peuvent être monocristallines. Aucune trace doxyde dargent, ni sur les particules coalescées, ni sur les assemblées restées intactes nest détectée, même dans des conditions dexposition très corrosives. Létude, in fine consacrée à la réactivité des réseaux face au plasma, démontre une nouvelle propriété intrinsèque des NC: lordre (la régularité de larrangement) détermine la stabilité des NC face au plasma doxygène. Un mécanisme de coalescence des NC et un mécanisme de formation des deux types de réseaux coexistant sont proposés.

Hersteller:
BoD - Books on Demand
info@bod.de
In de Tarpen 42
DE 22848 Norderstedt

Emilie Klecha est Docteur en Chimie-Physique de l'UniversitéPierre et Marie Curie-Paris spécialisé dans les nanomatériaux.Ses travaux de thèse, reportés dans cet ouvrage, engagent sesactivités de recherche sur l'auto-organisation de nanocristauxinorganiques et l'étude des propriétés physiques et chimiques quien découlent.